薄膜沉积设备：热蒸发/电子束蒸发/磁控溅射；MBE分子束外延设备

刻蚀设备：RIE 反应离子刻蚀系统

量测设备：椭偏仪；少子寿命测试设备；VPD 气相分解检测设备；非接触高阻测试设备；SIMS 二次离子质谱；膜应力测试设备